钱江晚报·小时新闻记者郑琳

发布人简介：施钧辉，年出生于浙江省绍兴市，年本科毕业于中国科技大学化学物理系。之后远赴美国深造，在世界著名学府普林斯顿大学就读研究生，于年获得博士学位，并在此后于圣路易斯华盛顿大学、加州理工学院做博士后研究，博士后导师是世界著名的生物医学成像专家华裔汪立宏院士。年初，在新冠疫情最严重的时候，施博士结束了12年的留学生涯，入职之江实验室担任高级研究专家，并入选年国家级青年千人专家。

成果简介：在先进半导体、新型电力电子器件等行业，无损检测对于产品质量把控和大规模量产至关重要。长期以来，以超声显微镜为代表的高端超声无损检测装备的市场及相关核心技术一直被国外企业垄断，制约着我国集成电路封装检测领域的发展。为填补国内在高频超声探测领域的技术空白，之江实验室的施钧辉博士研究团队研发的高分辨超声显微成像装备，不仅实现了国产自主可控，并在检测精度上达到了国际领先水平。

超声扫描显微镜的核心技术是高频超声换能器，决定了该设备的成像分辨率，而高性能的高频超声换能器一直是国内的技术空白。施博士的团队通过自主研发的２０－３００ＭＨｚ高性能单晶超声换能器，解决这个卡脖子技术领域。基于此研发的高分辨超声显微成像装备已实现穿透深度大于１ｃｍ、分辨率小于１０μｍ的检测精度。该成果已实现从核心器件、成像系统到图像处理软件的全系统国产自主可控，不仅大大降低了设备成本，性能也达到国际前沿水平，打破了美国、德国等国家在半导体超声检测设备的垄断。通过与国内电子生产商合作，在航天级贴片电容缺陷检测和芯片封装检测方面，已经实现了国产替代。目前团队研发的第二代样机，已经进入产品转化阶段。

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